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本人原来微电子专业，现转学mems，各位大神能否推荐一些mems入门书籍和课程？不胜感激！？我们物理，力学相关的只学到大物。 mems学习目标是能用有限元软件仿真硅谐振传感. Mems和mumps技术的应用领域包括汽车、航空航天、医疗、通信、消费电子等。具体到二氧化碳传感器的设计，mems在其中有如下几个功能： 1.传感元件制造： mems技术可以用于制造二氧化碳传.